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介紹納米壓痕儀的幾個(gè)使用特點(diǎn)

 更新時(shí)間:2021-09-25 點(diǎn)擊量:3154
  納米壓痕儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量,可以用于研究或測(cè)試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性??蛇m用于有機(jī)或無(wú)機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學(xué)薄膜,微電子鍍膜,保護(hù)性薄膜,裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料,包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等。
  (1)試樣制備簡(jiǎn)單。納米壓痕儀測(cè)試一般對(duì)試樣表面粗糙度有特殊要求,對(duì)被測(cè)試樣的形狀尺寸并無(wú)特殊要求,壓入深度在微納米尺度,是一種無(wú)損測(cè)試方法。
 ?。?)測(cè)量分辨力高。吉大納米壓痕儀位移分辨率達(dá)到0.05nm,力學(xué)分辨率100nN。瑞士的設(shè)備力學(xué)分辨率0.5nN,位移分辨率0.05nm。
 ?。?)操作方便。利用載荷-深度曲線,可直接換算得到接觸面積,無(wú)需對(duì)殘余壓痕面積進(jìn)行測(cè)定。
 ?。?)測(cè)試內(nèi)容豐富。利用納米壓痕儀測(cè)試不僅可以獲得硬度、彈性模量,還可以獲得塑性參數(shù)、斷裂參數(shù)、黏彈參數(shù)等。
 ?。?)納米壓痕儀應(yīng)用范圍廣??蓮V泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、薄膜材料、復(fù)合材料、生物材料、特殊功能材料、微機(jī)電系統(tǒng)中微構(gòu)件等眾多材料和結(jié)構(gòu)的力學(xué)測(cè)試。
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