SFA系統(tǒng)主要由SFA、光源、光譜儀、攝像機和計算機組成，其系統(tǒng)組成如圖所示。當系統(tǒng)運行時，由光源發(fā)出的白光經(jīng)過光學(xué)鏡組準直并過濾紅外后導(dǎo)入SFA 主體。進入SFA主腔體(Main chamber)的準直白光垂直入射到固定在表面基座中的兩個樣品表面上，并在樣品背面的兩個銀層之間發(fā)生多光束干涉。帶有表面間實時信息的透射光通過棱鏡導(dǎo)入光譜儀，并經(jīng)過光柵分光后生成可視的 FECO條紋。光譜儀輸出的FECO條紋最后由攝像機拍攝并錄入計算機。品表面上，并在樣品背面的兩個銀層之間發(fā)生多光束干涉.帶有表面間實時信息的透射光通過棱鏡導(dǎo)入光譜儀，并經(jīng)過光柵分光后生成可視的FeCo條紋.光譜儀輸出的FeCo條紋最后由攝像機拍攝并錄入計算機.