納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
劃痕法通過使用不同的傳感器（聲發(fā)射、劃痕位移、摩擦力）和視頻顯微鏡觀察獲得臨界載荷數據來量化不同的膜-基材組合的結合性能。主要研究材料的磨損或去除機制，廣泛應用于薄膜或涂層結合強度的測試。影響納米劃痕過程的主要因素包括壓頭類型、劃痕速度、劃痕深度和材料特性等。
使用納米壓痕儀要滿足哪些要求：
1.樣品要求：上下表面平行拋光，直徑不超過30mm，高度不超過20mm，如果高度超過10mm，直徑需保證是30mm左右，如果直徑小于10mm，那么高度建議5mm以下，利于樣品測試過程中的穩(wěn)固；如果是鑲的樣品，加工成直徑31.5mm，要不然容易打偏；
2.特別注意：試樣厚度至少大于壓入深度h的10倍以上，壓入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；壓入深度小于100nm數據可靠度不高；壓入深度一般2-3微米，深度再大沒有太大意義；對于表面比較粗糙的樣品，測試結果比較離散，建議測試點數不低于10個；樣品表面平整，不得有油污、顆粒物等污染物；提供樣品的泊松比。
